氣流方式

潔凈度

風速
(/s)

換氣次數(次/h)

吹入口、吸入口

優點

缺點

垂直層流方式

Class1
-
100

0.25
-
0.40

200
-
600

吹出：天花板的80%以上。 
吸入：壁板的40%以上，從側面板亦可。

效果完全 
不易被作業人員及作業狀態所影響 
開始運轉后即刻變為穩定狀態 
粉塵的堆積及再漂浮極少 
管理容易

需注意天花板部的無效空間（照明等） 
換過濾器教麻煩 
設備費非常高 
房屋的擴充較困難

水平層流方式

Class1

0.45
-
0.50

200
-
600

吹出：壁板的80%以上。 
吸入：壁板的40%以上，從天花板亦可。

運轉開始后即刻變為穩定狀態構造簡單

上游的影響會在下游出現 
人員及機器的配置及管理須注意 
設備費非常高 
房屋的擴充較困難

Class1,000

——

100
-
200

亂流方式(傳統式)

Class1,000
-
100,000

——

30
-
60

吹出：過濾器吹出口較好。 
吸入：從地板附近。

構造簡單 
設備費低 
房屋的擴充比較容易 
若再加用無塵臺可確保高潔凈度

由于氣流的亂流污染粒子有可能在室內循環 
到穩定狀態須花一段時間 
人員及機器的配置及管理須注意